徐锋
,
左敦稳
,
卢文壮
,
王珉
金属学报
采用双偏压热丝化学气相沉积法
在不同栅极和衬底
偏流下制备出纳米金刚石薄膜. 采用Raman谱、SEM、AFM、纳米压
痕法和XRD分析纳米金刚石膜的微结构、弹性模量和
残余应力. 分析结果表明，金刚石晶粒尺寸随着栅极和
衬底偏流的增加而减小，而衬底偏流的加入会引起非金刚石成分的显著
增加. 金刚石晶界的畸变使得弹性模量随着栅极和衬底偏流的增加而
减小，薄膜热应力也随之减小. 晶界非金刚石成分引
起金刚石本征应力呈压应力性质，晶界密度的增加使得
本征应力随着栅极偏流的增加而增加，但衬底偏流引起薄膜抵抗变形
能力剧烈下降，导致金刚石本征压应力的减小.
关键词:
纳米金刚石膜
,
Nanocrystalline diamond film
,
Elastic modulus
潘勇
,
管伟明
,
薛屺
,
郭俊梅
,
闻明
,
谭志龙
贵金属
采用第一性原理方法研究了微量B元素对Pt3Al合金的结构稳定性和力恘性能的影响，详细讨论了四面体间隙位置和八面体间隙位置两种添加方式。计算了它们的晶格参数、弹性常数、弹性模量和电子结构等性质。计算结果表明，微量B元素引起Pt3Al合金的晶格膨胀。同时，B在四面体位置比八面体位置要稳定存在。弹性模量的计算表明，B 在四面体位置削弱了Pt3Al合金的抗体积变形能力、抗剪切变形能力和弹性硬度。通过电子结构计算表明，微量B元素在Pt3Al合金中形成了Pt-B键和Al-B键，削弱了Pt-Al金属键的键结合能力。
关键词:
Pt3Al合金
,
弹性模量
,
电子结构
,
第一性原理
